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plascalc等離子體監控系統plascalc等離子體監控系統通過測量等離子體反應腔的發射光譜，實時監測反應腔內的等離子體組分和密度、等離子體溫度、電子密度等參數。由等離子體發射光譜的強度值可計算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度；由同一電子的能量吸收譜線同另外譜線的對比可計算得出電子溫度。測量輸出結果，可反饋控制等離子體的發生，從而獲得最佳的反應流程和效果。 plascalc等離子體監控系統主要包括：高性能線陣ccd光譜儀、傳輸光纖、接收透鏡、過程監控裝置及測量分析軟件。