fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀,是一款基于“膠帶粘取”采樣技術(shù)的表面污染檢測工具,可通過間接測量方式識別小至 0.5um 的顆粒污染物。其配備的用 pmc 采樣卡能在各類表面(包括難以觸及區(qū)域和高粗糙度表面)實現(xiàn)靈活采樣,且不會殘留可檢測的痕跡。該設(shè)備可在數(shù)內(nèi)完成 225 mm2 采樣區(qū)域的分析,確保快速獲得精準(zhǔn)檢測結(jié)果。搭配 2 英寸晶圓支架,也可對沉降顆粒進行檢測,滿足跨行業(yè)復(fù)雜
更新時間:2025-12-12