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fr-scanner 掃描型光學膜厚儀主要由以下系統組成：a) 光學光源裝置小型低功率混合式光源本系統混合了白熾燈和led燈，最終形成光譜范圍360nm- 1100nm；該光源系統通過微處理控制，光源平均壽命逾10000小時；

fr-basic vis/nir基礎型膜厚儀（紫外/近紅外-高分辨率）光譜范圍：350-1000nm ：α)鹵鎢光源系統tungsten halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強度。小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm)，分辨精度可達3648像素， 16位級 a/d 分辨精度；配有usb通訊接口；光學連接器sma 905, 光譜儀功率：110vac/230vac – 60hz/50hz.10mm厚度的氧化鋁面板，每英寸（25mm）間距，配有m6 (or ?”) 口徑鉆孔，用以安裝光學部件。樣品放置臺，配有多點z軸聚焦和x-y軸移動調節。反射探針夾具調節范圍 (200mm – 200mm – 60mm)，可在測試區域內精調節。β) fr-monitor膜厚測試軟件系統，

僅適用于cressington sputter和carbon coaters高分辨率厚度監視器和厚度控制器基于以下原理：石英晶體的振蕩頻率由其上表面上的沉積膜的質量改變。電子測量該效果允許確定沉積膜的厚度。一旦將蒸發的材料的密度輸入系統，就在范圍為0-999.9納米的四位led顯示器上測量厚度為0.1nm的分辨率。

一種緊湊，低成本，基于微處理器的薄膜厚度監視器，可與瓊脂系列涂層單元配合使用。這是一款緊湊型，低成本，基于微處理器的薄膜厚度監測儀，適用于瓊脂系列涂層裝置。*初設計用于電子顯微鏡應用，它也適用于復雜的沉積系統。雙存儲器存儲兩種沉積材料的參數。該系統使用安裝在晶體支架中的6mhz石英晶體振蕩器?？刂茊卧哂袛底肿x數，顯示直接以納米為單位的涂層厚度，分辨率為0.1nm。還可以輸入加工因子以補償樣品和晶體位置的差異。膜厚監測儀的測量范圍為0至999.9nm，并具有晶體壽命。升級套件允許在兩個瓊脂涂層機之間共享一個控制單元。