tucano是一種臺(tái)式等離子系統(tǒng),專為表面清潔,改性和活化而設(shè)計(jì)。系統(tǒng)特別設(shè)計(jì)用于等離子體表面處理包括光刻膠灰化, 有機(jī)物去除, 清洗, 活化, 改性, 沉積和刻蝕, 具有功能多, 易操作性強(qiáng), 全自動(dòng)化無需調(diào)試, 可靠性高, 低成本等優(yōu)點(diǎn), 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造, 微電子加工, 生命科學(xué)制造和前處理等。
更新時(shí)間:2025-12-16